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ALD를 이용한 경도 향상된 고 투과율 나노패턴 필름 제조 방법
부산특구 [기계/소재] ALD를 이용한 경도 향상된 고 투과율 나노패턴 필름 제조 방법
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 종래 일반적인 증착법이 아닌 나노 크기의 균일한 나노패턴으로 된 무기 박막을 형성할 수 있는 새로운 박막 증착 공정의 도입을 통..
공공연구기관
기술평점
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기술현황

대분류
기계/소재
중분류
산업/일반기계
특화분야
부산특구 해양플랜트 엔지니어링 및 서비스
보유기관(출원인)
공공연구기관 ((주)서영|부산대학교 산학협력단)
권리상태
출원
권리번호
출원 : 1020170170079 (2017/12/12)

기술설명

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 종래 일반적인 증착법이 아닌 나노 크기의 균일한 나노패턴으로 된 무기 박막을 형성할 수 있는 새로운 박막 증착 공정의 도입을 통해 유연 기판의 표면경도를 향상시키고자 하는 것이며, 아울러 필름의 투과도를 유지하고 저온 공정을 제공하고자 하는 것이다. 그에 따라 본 발명은, 유연 기판을 가소 상태로 가열하여 스탬프로 가압하여 나노패턴을 형성하고, 플라즈마로 표면을 세정한 다음, ALD로 나노사이즈 박막을 코팅하여 경도를 향상시킴과 동시에 굴절률을 최적화하고 투과도는 높게 유지하는, 고 투과율 나노패턴 필름 제조 방법을 제공한다.

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